中微半導體設備（上海）股份有限公司今日宣布推出專為高性能Mini LED量產而設計的Prismo UniMax?MOCVD設備，該設備在幫助LED芯片制造商提高產能的同時能夠有效地降低生產成本。
中微惠創科技（上海）有限公司日前與德國DAS環境專家有限公司正式簽訂戰略合作協議，雙方將在半導體行業尾氣處理設備領域展開緊密的合作，共同推動環?？萍夹袠I的發展。
中微半導體設備（上海）股份有限公司在SEMICON China 2021期間正式發布了新一代電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設備Primo Twin-Star ?，用于IC器件前道和后道制程導電/電介質膜的刻蝕應用。
